等離子清洗機(jī)大概由電源，匹配器，腔體,電磁閥,流量計(jì),外部氣體，真空泵,控制電路組成。當(dāng)出現(xiàn)故障報(bào)警的時(shí)候我們應(yīng)該先根據(jù)屏幕報(bào)警提示去查看是哪個(gè)部位出現(xiàn)了報(bào)警，這樣就確定了故障所存在的大概部位,然后查看相關(guān)部位的各個(gè)執(zhí)行機(jī)構(gòu)是否出現(xiàn)異常。控制電路的故障直觀z簡(jiǎn)單的方法就是萬(wàn)用表去檢測(cè)，檢測(cè)是否存在短路或斷路顯現(xiàn)，檢測(cè)電壓電流是否正常。如果在沒有萬(wàn)用表的情況下要排除故障,快速的方法就是替代法了，先根據(jù)屏幕提示大概確定故障存在的部位,然后拿相同的元器件進(jìn)行替換，如果是電器元件,如交流接觸器，熱過載，中間繼電器，相序保護(hù)器，流量計(jì)等元件故障的話這樣就很快解決了問題。
 

　　如果是氣體欠壓報(bào)警,就得確認(rèn)相關(guān)氣體進(jìn)氣口是否有氣體接入，氣體的壓力以及調(diào)壓閥、流量計(jì)、電磁閥、模擬量接線是否都OK，屏幕參數(shù)的相關(guān)參數(shù)設(shè)置是否都正確。真空度過高或過低報(bào)警時(shí)首先得看參數(shù)設(shè)置，當(dāng)真空度過高切參數(shù)設(shè)置OK時(shí)就得查找腔體及管道是否漏氣、真空泵抽空壓力是否正常，快速的辦法就是用設(shè)備自帶的真空度測(cè)量?jī)x直接接在真空泵上面測(cè)量真空泵的抽空值是否能達(dá)到標(biāo)準(zhǔn)，如果真空泵的抽空值正常就就說(shuō)明真空泵是沒問題的，把測(cè)量?jī)x再接到抽空管道上面測(cè)量，測(cè)量發(fā)現(xiàn)抽空值如果比直接接在真空泵上面高的多時(shí)則證明抽空管道漏氣。管道漏氣有可能是管道接頭處漏氣或者是管道破損漏氣。此抽空管道雖然是金屬不銹鋼材質(zhì)的，但是如果每次抽空時(shí)管道因?yàn)槌榭斩秳?dòng)與周邊某個(gè)部位產(chǎn)生摩擦，時(shí)間久了，管道也會(huì)出現(xiàn)磨損磨破的顯現(xiàn)。如果測(cè)量?jī)x接在抽空管道上面測(cè)量與直接接在真空泵上面測(cè)量的真空值無(wú)明顯區(qū)別時(shí)則說(shuō)明抽空管道也是好的，接下來(lái)只有在腔體密封性上面查找漏氣部位了，腔體可能出現(xiàn)漏氣的部位是密封條、玻璃窗、抽空接頭與外部鏈接部位、電極-與腔體外部鏈接部位、腔體破空與外部鏈接部位,容易出現(xiàn)漏氣的部位要屬密封條和玻璃窗了。
 

　　電源和匹配器的故障也會(huì)在故障觸發(fā)時(shí)在屏幕報(bào)警窗口示相關(guān)提示信息,但有時(shí)也會(huì)因?yàn)閰?shù)設(shè)置等原因觸發(fā)誤報(bào)信息，這個(gè)要根據(jù)情況而分析。當(dāng)電源或者匹配器出現(xiàn)故障時(shí)首先確定參數(shù)設(shè)置都是正確的，再檢查接線線路及設(shè)定功率輸出的電壓信號(hào)是否都正確合理、匹配器和電源之間的串口通訊是否正常,然后手動(dòng)調(diào)試，如果調(diào)試匹配器的參數(shù)，按下增減按鈕時(shí)相關(guān)參數(shù)無(wú)明顯變化，則說(shuō)明匹配器故障，調(diào)節(jié)電源功率大小時(shí)，電源功率輸出無(wú)變化則說(shuō)明電源故障。